7/16/2004，領(lǐng)先的通信儀表公司日本安立今天宣布通過利用MEMS技術(shù)成功將光譜分析儀的性能，尺寸，價格都實現(xiàn)大幅度改善�；�于MEMS技術(shù)的光譜分析儀模塊可以提供更高的掃描速度，更寬的波長范圍，特別適合于光纖光柵傳感以激光器網(wǎng)絡(luò)等的高速頻譜監(jiān)測應(yīng)用。該光譜分析儀模塊包括了MEMS光掃描器，透鏡，法拉第旋轉(zhuǎn)器，衍射光柵以及光電二極管。MEMS掃描裝置的角度決定了到達光電二極管的波長。法拉第旋轉(zhuǎn)器用于消除偏振影響。光電管的輸出通過一個12位的AD轉(zhuǎn)換器變成數(shù)字信號。該產(chǎn)品的監(jiān)測范圍從1525nm到1570nm，掃描速率達到2.6ms，是傳統(tǒng)產(chǎn)品的100倍，動態(tài)范圍33dB， 帶寬精度0.1nm，波長精確度10pm。