7/3/2007,棱鏡耦合（Prism Coupler）技術(shù)是測試多層膜的折射率和厚度的最可信，最精確的技術(shù)之一�？偟脑�理已經(jīng)被尤瑞和多奇介紹過了(R. Ulrich and R. Torge, Appl. Opt. 12, 2901 (1973))，激光通過棱鏡和薄膜之間的空氣層被耦合進波導層。在耦合的某個角度，可以看到波導產(chǎn)生的模點。當從棱鏡里面看到衍射光時，在這些耦合的角度，可以發(fā)現(xiàn)光強突然變?nèi)�，在光斑的中間有個垂直的黑線。通過測試所有的模點，就能夠算出膜層的折射率和厚度了。
    為了得到這些值，膜層厚度需要足夠大，至少在波導上出現(xiàn)兩個模點。通過調(diào)整激光的直角偏振，就可以算出膜層的尋常光和非尋常光。
     
         （棱鏡耦合儀SPA-4000外觀）
    以下是美國杜克大學物理系（Duke University）利用棱鏡耦合來測試AlGaN（鋁的成分有改變）的尋常光和非尋常光的實驗介紹，詳情請點擊。
      
             （測試結(jié)構(gòu)圖）
測試數(shù)據(jù)
    尋常光和非尋常光的測試結(jié)果（該膜層是通過MOCVD生長的AlGaN膜，其中鋁的成分有所不同，如下圖所示） 
     
           尋常光折射率（No）分布圖
      
    非尋常光折射率（Ne）分布圖
    波導耦合的原理：
      

測試過程：
     

(WesTech INT Co.,Ltd 鄧華中 aaron_deng@126.com)